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二手設備買賣(2).JPG)
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設備規格說明 |
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腔體數量 |
10腔 |
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設備尺寸 |
23000mm*5500mm*2000mm |
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台車尺寸 |
1320mm*820mm |
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成膜方式 |
水平式-上往下濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 12支 |
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濺射電源 |
DC Power |
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設備年齡 |
約7年 |
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原製造商 |
群衡科技 |
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設備所在地 |
中國-江蘇 |
六. EMI臥式濺鍍設備(2)
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設備規格說明 |
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腔體數量 |
10腔 |
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設備尺寸 |
23000mm*5500mm*2000mm |
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台車尺寸 |
1320mm*820mm |
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成膜方式 |
水平式-上往下濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 12支 |
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濺射電源 |
DC Power |
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設備年齡 |
約7年 |
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原製造商 |
群衡科技 |
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設備所在地 |
中國-江蘇 |
七. EMI臥式濺鍍設備(3)
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設備規格說明 |
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腔體數量 |
10腔 |
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設備尺寸 |
24000mm*4000mm*1350mm |
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台車尺寸 |
1000mm*800mm |
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成膜方式 |
水平式-上往下濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 12支 |
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濺射電源 |
DC Power |
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設備年齡 |
約7年 |
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原製造商 |
群衡科技 |
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設備所在地 |
中國-江蘇 |
八. 立式7腔濺鍍設備
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設備規格說明 |
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腔體數量 |
7腔 |
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設備尺寸 |
10000mm*2005mm*3000mm |
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台車尺寸 |
400mm*550mm |
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成膜方式 |
立式-單面成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 4支 |
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濺射電源 |
DC PowerPower、P-DC等… |
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設備年齡 |
約10年 |
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原製造商 |
燦元科技 |
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設備所在地 |
台灣 |
