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設備規格說明 |
5代線 |
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腔體數量 |
九腔 |
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設備尺寸 |
223000mm*5000mm*1650mm |
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台車尺寸 |
1600mm*1400mm(35mm*1245mm-2片) |
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成膜方式 |
水平式-上往下濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
Rotary Cathode x 8支 |
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濺射電源 |
DC Power、MF Power、P-DC等… |
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設備年齡 |
3年 |
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原製造商 |
鉅永真空 |
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設備所在地 |
台灣 |
二. 直立式連續式濺鍍設備(2.5代)
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設備規格說明 |
2.5代線 |
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腔體數量 |
九腔 |
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設備尺寸 |
15600mm*6475mm*2725mm |
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台車尺寸 |
850mm*600mm(產品370mm*470mm) |
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成膜方式 |
立式-雙面濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 8支 |
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濺射電源 |
DC Power、P-DC等… |
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設備年齡 |
15年 |
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原製造商 |
萊寶真空 |
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設備所在地 |
台灣 |
三.直立式連續式濺鍍設備(2.5代)
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設備規格說明 |
2.5代線 |
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腔體數量 |
11腔 |
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設備尺寸 |
18290mm*6475mm*2725mm |
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台車尺寸 |
850mm*600mm(產品370mm*470mm) |
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成膜方式 |
立式-雙面濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 12支 |
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濺射電源 |
DC Power |
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設備年齡 |
約15年 |
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原製造商 |
萊寶真空 |
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設備所在地 |
台灣 |
四. SDC水平式連續式濺鍍設備
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設備規格說明 |
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腔體數量 |
8腔 |
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設備尺寸 |
11500mm*3000mm*2200mm |
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台車尺寸 |
600mm*400mm |
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成膜方式 |
水平式-上往下濺鍍成膜 |
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濺鍍源數量 |
平面靶 x 4支 |
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濺射電源 |
DC Power |
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設備年齡 |
約7年 |
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原製造商 |
鈺衡科技 |
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設備所在地 |
台灣 |
