太陽能濺鍍設備

有關太陽能發電的關鍵主要零組件便是高效率太陽能光電轉換薄膜，利用光電鍍膜技術對特殊材料(Mo、CIG、ZnO、AZO、AL，
以及真空高溫硒化)在玻璃或材質基板鍍膜的設備，客製化的設計為鉅永真空的產品發展主力。

提供膜層:

1.Culn、In、CuGa、CIG…等前驅層

2.CIS、CIGS..等吸收層

3.AZO、ITO、ZnO、GZO..等透明導電膜層

4.Mo、Al、NiV、Ag…等金屬電極膜層

5.SiO2/TiO2、SiO2/Nb2O5…等抗反射鍍膜層

◎水平連續式太陽能濺鍍系統

鍍膜材質系統: Mo, CIG, ZnO, AZO, and AL

產品尺寸: 3.5G~5G

◎直立連續式太陽能濺鍍設備:

鍍膜材質:Mo, CIG, ZnO, AZO, and AL

產品尺寸: 3.5G~5G

太陽能CIGS高溫硒化連續設備，可在高溫真空適當的分壓氣氛控制下，進行製程升降溫參數設定，特別對於大面積基板亦能夠快速且均勻地加熱，並精確控制薄膜結晶化程度及淨化品質。太陽能CIGS薄膜製程中，硒化為關鍵製程，將各沉積層轉化為CIGS吸收層，可量產CIGS的製程設備。

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地址:台南市安定區港口里332-32號電話:+886-6-593-1695 傳真:+886-6-593-1625

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