鉅永真空科技股份有限公司
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  太陽能濺鍍設備

有關太陽能發電的關鍵主要零組件便是高效率太陽能光電轉換薄膜,利用光電鍍膜技術對特殊材料(Mo、CIG、ZnO、AZO、AL,
以及真空高溫硒化)在玻璃或材質基板鍍膜的設備,客製化的設計為鉅永真空的產品發展主力。


提供膜層:
1.Culn、In、CuGa、CIG…等前驅層
2.CIS、CIGS..等吸收層
3.AZO、ITO、ZnO、GZO..等透明導電膜層
4.Mo、Al、NiV、Ag…等金屬電極膜層
5.SiO2/TiO2、SiO2/Nb2O5…等抗反射鍍膜層
 
◎水平連續式太陽能濺鍍系統       
 鍍膜材質系統: Mo, CIG, ZnO, AZO, and AL    
產品尺寸: 3.5G~5G        

◎直立連續式太陽能濺鍍設備:
鍍膜材質:Mo, CIG, ZnO, AZO, and AL 
產品尺寸: 3.5G~5G

 

太陽能CIGS高溫硒化連續設備,可在高溫真空適當的分壓氣氛控制下,進行製程升降溫參數設定,特別對於大面積基板亦能夠快速且均勻地加熱,並精確控制薄膜結晶化程度及淨化品質。太陽能CIGS薄膜製程中,硒化為關鍵製程,將各沉積層轉化為CIGS吸收層,可量產CIGS的製程設備。

    
 
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