實驗室介紹

1. Sputter實驗機:
有效濺鍍尺寸:300mm*400mm
適用靶材:Ag、Sn、Ti、In、SUS 316L、CuGa、Mo、ZnO、AZO、Si、ITO、NiCr(80/20)、Cu、Nb2Ox、GZO(5wt% Ga2O3)、GZO(5.3wt% Ga2O3)、Al、NiV、Zn、SUS 304、CuNi(80/20)、GZO(0.6wt% Ga2O3)、NiO、Li3PO4、LiMn2O4、LiCoO2

適用電源: RF、脈衝式DC、DC及MF電源。

2. 四點探針
量測電阻範圍：
電阻：10uΩ~33MΩ
片電阻：150KΩ/□~1500mΩ/□

3. 膜厚分析儀
最大試片尺寸:?160x48mm
最大量測長度:600um

4. UV-3600 UV-VIS-NIR光譜儀
可分析光譜:185-3300nm

5. ITO線徑量測OM光學顯微鏡

瀏覽次數 : 9662

地址:台南市安定區港口里332-32號電話:+886-6-593-1695 傳真:+886-6-593-1625

建議使用 Internet Explorer 7 以上、以最佳螢幕解析度 1280 x 768 觀看