鉅永真空科技股份有限公司
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  實驗室介紹

 
1.    Sputter實驗機: 
有效濺鍍尺寸:300mm*400mm 
適用靶材:Ag、Sn、Ti、In、SUS 316L、CuGa、Mo、ZnO、AZO、Si、ITO、NiCr(80/20)、Cu、Nb2Ox、GZO(5wt% Ga2O3)、GZO(5.3wt% Ga2O3)、Al、NiV、Zn、SUS 304、CuNi(80/20)、GZO(0.6wt% Ga2O3)、NiO、Li3PO4、LiMn2O4、LiCoO2

適用電源: RF、脈衝式DC、DC及MF電源。



2. 四點探針  
量測電阻範圍:  
電阻:10uΩ~33MΩ  
片電阻:150KΩ/□~1500mΩ/□  



3. 膜厚分析儀  
最大試片尺寸:?160x48mm
最大量測長度:600um

 

4. UV-3600 UV-VIS-NIR光譜儀

可分析光譜:185-3300nm


5.  ITO線徑量測OM光學顯微鏡
 
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